图片:光伏产业链
资料来源:前瞻产业研究院整理
光伏行业中的真空应用:
输送工艺:在生产光伏模块工艺时,需要利用真空技术实现高效而准确的工件搬运(如硅片、电池、封装线和成品模块等)
单晶硅片生产 – 拉晶工艺:用在单晶硅和多晶硅的烧结炉中,可防止杂质污染,防止和其他气体的反应,提高拉晶纯度
设备:单晶炉
生长条件:需要在真空条件或保护气氛下才能避免氧化
组成:总体由炉体、电气部分、热系统、水冷系统、真空 系统和氩气供给装置六部分组成
太阳能电池生产 – 刻蚀工艺:对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀,以避免PN结正面所收集到的光生电子沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,而造成短路。
太阳能电池是以半导体材料为基础的一种具有能量转换功能的半导体器件,是太阳能光伏发电的核心的器件。
硅太阳电池(单晶硅太阳电池、多晶硅太阳电池、非晶硅太阳电池),薄膜太阳电池,化合物太阳电池,有机半导体太阳电池
太阳能电池组件生产 – 层压工艺:排出封装材料间隙的空气和层压过程中产生的气体,消除组件内的气泡;在层压机内部造成一个压力差,产生层压所需要的压力
层压机:将敷设好的电池放入层压机内,通过抽真空将组件内的空气抽出,然后加热使EVA熔化将电池、玻璃和背板粘接在一起;最后冷却取出组件。
真空解决方案
拉晶工艺
注意事项:
拉晶过程中需要保证环境的稳定性 – 考验真空泵的极限真空和耐负载能力,会与泵油混合,造成真空泵性能下降
拉晶时会产生杂质和硅氧化物 – 泵油
工艺要求:
极限真空:小于0.03 mbar
拉晶进行时真空需求: 保持在约15 mbar左右
主推产品:
干螺杆真空泵VS